Novel planarization method of single-crystal diamond using 172 nm vacuum-ultraviolet light

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标题	Novel planarization method of single-crystal diamond using 172 nm vacuum-ultraviolet light
网址	https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2018.06.003
DOI	10.1016/j.precisioneng.2018.06.003 doi
其它	期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 作者：Akihisa Kubota; Takahiro Takita 出版日期：2018-06-18
求助人	yue 在 2026-11-04 20:25:55 发布自上海，悬赏 10 积分
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