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 The influence of impurities and planar defects on the infrared properties of silicon carbide films 杂质和平面缺陷对碳化硅薄膜红外性能的影响
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Shreyas Rajasekhara; Burton Neuner; Christian A. Zorman; Nikoletta Jegenyés; Gabriel Ferro; et al 出版日期：2011-05-09 |
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