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World’s First GAA 3nm Foundry platform Technology (SF3) with Novel Multi-Bridge-Channel-FET (MBCFET™) Process 全球首个采用新型多桥沟道场效应晶体管(MBCFET™)工艺的GAA 3nm代工平台技术(SF3)
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期刊: 作者:Jae‐Hun Jeong; Sang Hyeon Lee; S. Masuoka; Seung-Kee Min; Sang Hoon Lee; et al 出版日期:2023-06-11 |
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