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![]() 溅射沉积氟化钇薄膜的制备及光学性能
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其它 | Pei L, Jiaqi Z, Yuankun Z, et al. Preparation and optical properties of sputtered-deposition yttrium fluoride film[J]. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2013, 307: 429-433. |
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