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 Demonstration and characterization of 500 V MIM capacitor with Al2O3 dielectric layer for power integrated circuits 功率集成电路用Al2O3介质层500 V MIM电容器的演示与表征
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期刊：Solid-State Electronics 作者：Hao Yu; Jue Wang; Li Liu; Kuang Sheng 出版日期：2021-08-18 |
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