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 Phosphorus diffusion and activation in fluorine co-implanted germanium after excimer laser annealing 准分子激光退火后氟共注入锗中磷的扩散与活化
相关领域
材料科学
退火（玻璃）
掺杂剂活化
准分子激光器
氟
掺杂剂
兴奋剂
锗
通量
分析化学（期刊）
离子注入
活化能
化学工程
激光器
离子
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硅
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物理
工程类
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期刊：Chinese Physics B/Chinese physics B 作者：Wang Chen; Fan Weihang; Xu Yu; Yuchao Zhang; Fan Huichen; et al 出版日期：2022-08-01 |
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