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标题
Latest developments of CNT based pellicles for high-power EUV lithography
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.2689034
DOI
10.1117/12.2689034 doi
其它 期刊：International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2023
作者：Márcio D. Lima; Takahiro Ueda; Takeshi Kondo; Tetsuo Harada
出版日期：2023-11-22
求助人
pancake 在 2026-06-26 18:11:04 发布自河南，悬赏 20 积分
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