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标题
Anisotropic Etching of InP and InGaAs by Using an Inductively Coupled Plasma in Cl2/N2 and Cl2/Ar Mixtures at Low Bias Power
网址
https://doi.org/10.3938/jkps.50.1130
DOI
10.3938/jkps.50.1130 doi
其它 期刊：Journal of the Korean Physical Society
作者：J. W. Bae; Chang-Gyun Jeong; Jong Tae Lim; Hwon‐gi Lee; G.Y. Yeom; et al
出版日期：2007-04-14
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