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 Effects of electrolyte type and concentration on the anodic oxidation of 4H-SiC (0001) in slurryless electrochemical mechanical polishing 电解液种类和浓度对4H-SiC（0001）无浆电化学机械抛光阳极氧化的影响
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期刊：Electrochimica Acta 作者：Xiaozhe Yang; Xu Yang; Kazuya Yamamura 出版日期：2024-01-01 |
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