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标题
Wafer-scale integration of transition metal dichalcogenide field-effect transistors using adhesion lithography
过渡金属二硫族化物场效应晶体管的贴附光刻晶片级集成
相关领域
二硫化钼 薄脆饼 材料科学 蚀刻(微加工) 平版印刷术 纳米技术 单层 晶体管 粘附 光刻 光电子学 场效应晶体管 半导体 表面能 各向同性腐蚀 图层(电子) 复合材料 电气工程 工程类 电压
网址
DOI
10.1038/s41928-022-00890-z doi
其它 期刊:Nature electronics
作者:Van Luan Nguyen; Minsu Seol; Junyoung Kwon; Eun-Kyu Lee; Won-Jun Jang; et al
出版日期:2022-12-21
求助人
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