Macro and micro-nano machining mechanism for ultrasonic vibration assisted chemical mechanical polishing of sapphire - 科研通

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标题	Macro and micro-nano machining mechanism for ultrasonic vibration assisted chemical mechanical polishing of sapphire 蓝宝石超声振动辅助化学机械抛光宏微纳米加工机理
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.158343
DOI	10.1016/j.apsusc.2023.158343 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Mufang Zhou; Yuanyao Cheng; Min Zhong; Wenhu Xu 出版日期：2023
求助人	清暗月华在 2023-09-06 08:24:10 发布自吉林，悬赏 10 积分
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