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 Characterization and analysis of DLC films with different thickness deposited by RF magnetron PECVD 射频磁控PECVD沉积不同厚度DLC薄膜的表征与分析
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期刊：Rare Metals 作者：Yujie Huang; Qi Wang; Mei Wang; Zhenyi Fei; Musen Li 出版日期：2012-03-29 |
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