Characterization and analysis of DLC films with different thickness deposited by RF magnetron PECVD

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作者
Yujie Huang,Qi Wang,Mei Wang,Zhenyi Fei,Musen Li
出处
期刊:Rare Metals [Springer Nature]
卷期号:31 (2): 198-203 被引量:14
标识
DOI:10.1007/s12598-012-0491-x

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