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Characterization and analysis of DLC films with different thickness deposited by RF magnetron PECVD

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作者
Yujie Huang,Qi Wang,Mei Wang,Zhenyi Fei,Musen Li
出处
期刊：Rare Metals [Springer Science+Business Media]
日期：2012-03-29 卷期号：31 (2): 198-203 被引量：14
标识
DOI：10.1007/s12598-012-0491-x
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