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 Improving anti-humidity property of In2O3 based NO2 sensor by fluorocarbon plasma treatment 氟碳等离子体处理提高In2O3基NO2传感器防潮性能
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期刊：Sensors and Actuators B-chemical 作者：Bingsheng Du; Tianjiao Qi; Jinshan Li; Yong He; Xi Yang 出版日期：2021-06-09 |
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