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 Plasma etching behavior of yttrium‐aluminum oxide composite ceramics 钇-氧化铝复合陶瓷的等离子体刻蚀行为
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期刊：International Journal of Applied Ceramic Technology 作者：Yicheng Tan; Peng Chen; Zuoxiang Zhu; Shanghua Wu; Zhuo Tian 出版日期：2021-03-04 |
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