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 Design of a new TM021 mode cavity type MPCVD reactor for diamond film deposition 用于金刚石膜沉积的新型TM021模腔型MPCVD反应器的设计
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期刊：Diamond and Related Materials 作者：Y. Li; Jun Su; Y. W. Liu; Mingde Ding; Xin Li; et al 出版日期：2014-04-01 |
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