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标题
Progress in Polycrystalline SiC Growth by Low Pressure Chemical Vapor Deposition and Material Characterization
低压化学气相沉积法生长多晶SiC及材料表征研究进展
相关领域
化学气相沉积 微晶 材料科学 沉积（地质） 基质（水族馆） 薄膜 兴奋剂 纳米技术 化学工程 光电子学 冶金 生物 海洋学 地质学 工程类 古生物学 沉积物
网址
https://doi.org/10.3390/mi16030276
AI链接 mdpi.com mdpi.com nih.gov doaj.org nih.govdoi.org
DOI
10.3390/mi16030276 doi
其它 期刊：Micromachines
作者：Michail Gavalas; Yann Gallou; Didier Chaussende; Elisabeth Blanquet; Frédéric Mercier; Konstantinos Zekentes
出版日期：2025
求助人
赖新儿 在 2025-12-05 15:12:27 发布自贵州，悬赏 10 积分
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