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标题
Polycrystalline LPCVD 3C-SiC Thin Films on SiO₂ Using Alternating Supply Deposition
利用交替供应沉积在SiO₂上制备多晶LPCVD 3C-SiC薄膜
相关领域
微晶 化学气相沉积 材料科学 沉积（地质） 薄膜 光电子学 纳米技术 冶金 地质学 沉积物 古生物学
网址
https://doi.org/10.1109/jmems.2024.3472286
DOI
10.1109/jmems.2024.3472286 doi
其它 期刊：Journal of Microelectromechanical Systems
作者：Philipp Moll; Georg Pfusterschmied; Sabine Schwarz; Werner Artner; U. Schmid
出版日期：2024-10-15
求助人
pahnky 在 2025-12-05 11:59:48 发布自上海，悬赏 10 积分
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