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标题	KrF excimer laser trenching of <bold>X</bold>-cut <inline-formula><math display="inline" overflow="scroll"><msub><mi>LiNbO</mi><mrow><mn>3</mn></mrow></msub></math></inline-formula> for realization of optimized optical modulator electrode structures KrF准分子激光挖沟X-切割 ${LiNbO}_{3}$ 用于实现优化的光调制器电极结构相关领域准分子激光器烧蚀表面微加工铌酸锂准分子激光器材料科学光学纸卷实现（概率）激光烧蚀光电子学物理数学工程类制作病理航空航天工程替代医学统计机械工程医学
网址	https://doi.org/10.1117/1.1484160
DOI	10.1117/1.1484160 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 作者：Han-Woo Chong; Arnan Mitchell; Jason P. Hayes; Michael W. Austin 出版日期：2002-07-01
求助人	传统的小伙在 2025-12-10 12:22:12 发布自天津，悬赏 20 积分
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