High quality AlN film grown on a nano-concave-circle patterned Si substrate with an AlN seed layer

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标题	High quality AlN film grown on a nano-concave-circle patterned Si substrate with an AlN seed layer 在具有AlN种子层的纳米凹圆图案Si衬底上生长高质量AlN薄膜相关领域材料科学聚结（物理）图层（电子）光电子学方向错误化学气相沉积基质（水族馆）外延薄膜半最大全宽金属有机气相外延结晶学复合材料微观结构纳米技术晶界化学海洋学物理地质学天体生物学
网址	https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/doi/10.1063/5.00102...
DOI	10.1063/5.0010285 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Jianfei Shen; Xuelin Yang; Danshuo Liu; Zidong Cai; Lai Wei; et al 出版日期：2020-07-14
求助人	见闻在 2024-11-12 20:31:51 发布自江苏，悬赏 10 积分
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