Nucleation and growth of ECD Cu on PVD TiN from low acid sulfate electrolyte

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标题	Nucleation and growth of ECD Cu on PVD TiN from low acid sulfate electrolyte
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016793170...
DOI	10.1016/j.mee.2004.07.006 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：L. Magagnin; A. Vicenzo; M. Bain; H.W. Toh; H.S. Gamble; P.L. Cavallotti 出版日期：2004-08-11
求助人	车哥爱学习在 2026-03-28 01:31:16 发布自湖北，悬赏 10 积分
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