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 Roles of Phthalic Acid and Oleic Acid on Chemical Mechanical Polishing in Alkaline Slurries for Cobalt Interconnects 邻苯二甲酸和油酸在钴互连碱性浆料化学机械抛光中的作用
相关领域
化学机械平面化
邻苯二甲酸
材料科学
油酸
化学工程
泥浆
腐蚀
复合材料
抛光
化学
生物化学
工程类
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| 其它 |
期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Lifei Zhang; Shuhui Wang; Tongqing Wang; Xinchun Lu 出版日期：2023-07-01 |
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