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蓝宝石表面的烘烤和等离子体预处理作为一种促进 GaN 薄膜外延等离子体增强原子层沉积的方法 相关领域
蓝宝石
材料科学
外延
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图层(电子)
光电子学
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宽禁带半导体
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沉积(地质)
薄膜
氮化物
镓
纳米技术
光学
冶金
激光器
地质学
古生物学
物理
海洋学
生物
量子力学
沉积物
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