Comparative study on the radiation damage of a-Si:H p-i-n diodes made by PECVD and ion shower doping

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标题	Comparative study on the radiation damage of a-Si:H p-i-n diodes made by PECVD and ion shower doping PECVD和离子束掺杂制备a-Si：H p-i-n二极管辐射损伤的比较研究相关领域二极管材料科学光电子学辐照辐射损伤辐射泄漏（经济）兴奋剂电离辐射等离子体增强化学气相沉积粒子探测器化学气相沉积光学物理核物理学经济宏观经济学
网址	https://doi.org/10.1109/tns.2002.803866
DOI	10.1109/tns.2002.803866 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Nuclear Science 作者：Hee Joon Kim; Gyuseong Cho; Tae‐Hoon Lee; Young Soo Kim 出版日期：2002-10-01
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