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标题
Atomic layer deposition of InN using trimethylindium and ammonia plasma
三甲基铟和氨等离子体原子层沉积InN
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网址
https://doi.org/10.1116/1.5079279
AI链接 kb.se diva-portal.org chemrxiv.org chemrxiv.orgdoi.org
DOI
10.1116/1.5079279 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Petro Deminskyi; Polla Rouf; Ivan G. Ivanov; Henrik Pedersen
出版日期：2019-02-26
求助人
Ca 在 2025-09-02 12:42:04 发布自山西，悬赏 10 积分
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