Manipulating the processing window of directed self-assembly in contact hole shrinking with binary block copolymer/homopolymer blending

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标题	Manipulating the processing window of directed self-assembly in contact hole shrinking with binary block copolymer/homopolymer blending 相关领域共聚物自组装二进制数窗口（计算）纳米技术块（置换群论）材料科学高分子科学高分子化学化学计算机科学有机化学聚合物数学算术操作系统几何学
网址	https://www.cell.com/article/S2589004224006461/pdf
DOI	10.1016/j.isci.2024.109425 doi
其它	期刊：iScience 作者：Zhiyong Wu; Jiacheng Luo; Luyang Li; Qingshu Dong; Xiaohui Zhang; et al 出版日期：2024-03-04
求助人	JoySue 在 2025-09-27 23:49:16 发布自江苏，悬赏 10 积分
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