Simulation Study of Capacitively Coupled Oxygen Plasma with Plasma Chemistry including Detailed Electron Impact Reactions

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标题	Simulation Study of Capacitively Coupled Oxygen Plasma with Plasma Chemistry including Detailed Electron Impact Reactions
网址	https://www.semanticscholar.org/paper/321b95f686666e5c6366b0...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	期刊：作者：Heon Chang Kim 出版日期：2011-01-01
求助人	等待的难敌在 2026-10-03 18:16:59 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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