Atomic-scale surface of fused silica induced by chemical mechanical polishing with controlled size spherical ceria abrasives

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标题	Atomic-scale surface of fused silica induced by chemical mechanical polishing with controlled size spherical ceria abrasives
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2022.12.008
DOI	10.1016/j.jmapro.2022.12.008 doi
其它	期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Guanghong Xu; Zhenyu Zhang; Fanning Meng; Lu Liu; Dongdong Liu; et al 出版日期：2022-12-15
求助人	能能鹤在 2026-10-09 17:17:17 发布自陕西，悬赏 10 积分
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