The design and analysis of beam-membrane structure sensors for micro-pressure measurement

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标题	The design and analysis of beam-membrane structure sensors for micro-pressure measurement 微压测量梁膜结构传感器的设计与分析相关领域材料科学有限元法压力传感器线性灵敏度（控制系统）薄脆饼压阻效应重复性制作梁（结构）硅微电子机械系统压力测量压力（语言学）光电子学声学电子工程机械工程结构工程工程类哲学病理色谱法语言学化学物理替代医学医学
网址	https://doi.org/10.1063/1.3702809
DOI	10.1063/1.3702809 doi
其它	期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Bian Tian; Yulong Zhao; Zhuangde Jiang; Bin Hu 出版日期：2012-04-01
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