| 标题 |
 Surface Cleaning of Gold Structure by Annealing during Fabrication of Microelectromechanical System Devices 微机电系统器件制造过程中金结构的退火表面清洗
相关领域
X射线光电子能谱
电镀
微电子机械系统
制作
退火（玻璃）
材料科学
灰化
氧化物
蚀刻（微加工）
解吸
氧气
薄脆饼
纳米技术
化学工程
分析化学（期刊）
图层（电子）
冶金
化学
吸附
色谱法
病理
工程类
物理
有机化学
替代医学
医学
量子力学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Tomomi Sakata; Yuichi Okabe; Kei Kuwabara; Norio Sato; Kazuyoshi Ono; et al 出版日期：2009-02-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
yar
孙燕
乐乐乐乐乐乐
打卡下班
甜蜜的楷瑞
热心市民小红花
YamDaamCaa
坦率的匪
哈基米德
彭于彦祖
嘿嘿
CAOHOU
SYLH
eric888
微笑绿旋
海东来
Bio
昏睡的蟠桃
风清扬
老阎
皖公网安备34019202002308
