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标题
Self-Aligned Single Diffusion Break Technology Optimization Through Material Engineering for Advanced CMOS Nodes
基于材料工程的先进CMOS节点自对准单扩散中断技术优化
相关领域
PMOS逻辑 NMOS逻辑 CMOS芯片 环形振荡器 电子工程 缩放比例 计算机科学 电气工程 材料科学 晶体管 工程类 电压 几何学 数学
网址
DOI
10.23919/sispad49475.2020.9241625 doi
其它 期刊:
作者:Ashish Pal; El Mehdi Bazizi; Jiang Liu; Mehdi Saremi; Blessy Alexander; et al
出版日期:2020-09-23
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