New critical dimension optical metrology for submicron high-aspect-ratio structures using spectral reflectometry with supercontinuum laser illumination

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标题	New critical dimension optical metrology for submicron high-aspect-ratio structures using spectral reflectometry with supercontinuum laser illumination
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of...
DOI	10.1117/12.2621895 doi
其它	期刊：Photonics Europe 作者：Wei-Hsin Chein; Fu-Sheng Yang; Komal Thakur; Guo-Wei Wu; Liang-Chia Chen 出版日期：2022-05-24
求助人	123ywh 在 2026-07-09 16:31:57 发布自北京，悬赏 20 积分
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