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Optimization of Selective Growth of SiGe for Source/Drain in 14nm and Beyond Nodes FinFETs
网址
https://doi.org/10.1142/S0129156417400031
DOI
10.1142/S0129156417400031 doi
其它 期刊：International Journal of High Speed Electronics and Systems
作者：Henry H. Radamson; Jun Luo; Changliang Qin; Huaxiang Yin; Huilong Zhu; et al
出版日期：2017
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程大海 在 2026-01-27 20:10:35 发布自安徽，悬赏 30 积分
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