发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
Chemical vapour deposition of the oxides of titanium, zirconium and hafnium for use as high-k materials in microelectronic devices. A carbon-free precursor for the synthesis of hafnium dioxide
在微电子器件中用作高k材料的钛、锆和铪氧化物的化学气相沉积。用于合成二氧化铪的无碳前驱体
相关领域
铪 锆 X射线光电子能谱 化学气相沉积 钛 无机化学 材料科学 原子层沉积 化学 化学工程 薄膜 纳米技术 冶金 工程类
网址
https://doi.org/10.1002/1099-0712(200005/10)10:3/53.0.co;2-j
DOI
10.1002/1099-0712(200005/10)10:3/5<105::aid-amo402>3.0.co;2-j doi
其它 期刊：Advanced Materials for Optics and Electronics
作者：Ryan C. Smith; Tiezhong Ma; Noel Hoilien; Lancy Tsung; M. J. Bevan; et al
出版日期：2000-05-01
求助人
yg 在 2025-11-23 10:03:52 发布自中国，悬赏 10 积分
下载 求助已完成，仅限求助人下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Mechanical properties and corrosion resistance of hafnium-zirconium alloys in a steam-water medium
  2. Synthesis and Reactivity of Zirconium and Hafnium Dihydroxophthalocyaninates
  3. Solvent Extraction and Separation of Hafnium from Zirconium with DIBK
  4. X-ray determination of traces of hafnium in zirconium metal or traces of zirconium in hafnium metal ...
  5. Studies on the analytical chemistry of hafnium and zirconium. Part III. Spectrofluorimetric determin...
  6. Studies on the analytical chemistry of hafnium and zirconium. Part I. A review of methods for the de...
  7. Spectrophotometric Studies of Dioxo‐Complexes of Quadrivalent Metals. I. Complexes of Zirconium and...
  8. Research Progress on Mechanism of the Separation of Zirconium and Hafnium Extraction
  9. Extraction Kinetics of Zirconium and Hafnium in DIBK-P204 System
　...点击展开更多...　
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
有了科研通，下载文献真轻松！
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Jaylou完成签到，获得积分0
刚刚
李陈完成签到，获得积分10
刚刚
小戈老师完成签到，获得积分10
3秒前
蔡菜菜发布了新的文献求助10
5秒前
CodeCraft的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
5秒前
慕青的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
wwz的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
科研通AI6的应助被科研通管家采纳，获得10
6秒前
乐乐的应助被科研通管家采纳，获得10
6秒前
科研通AI6的应助被科研通管家采纳，获得10
6秒前
Orange的应助被科研通管家采纳，获得10
6秒前
6秒前
今后的应助被科研通管家采纳，获得10
6秒前
changping的应助被科研通管家采纳，获得10
6秒前
彭于晏的应助被科研通管家采纳，获得10
6秒前
酷波er的应助被科研通管家采纳，获得10
6秒前
充电宝的应助被科研通管家采纳，获得10
6秒前
6秒前
Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10
6秒前
小二郎的应助被科研通管家采纳，获得10
6秒前
chenqiumu的应助被科研通管家采纳，获得30
6秒前
传奇3的应助被科研通管家采纳，获得10
6秒前
田様的应助被科研通管家采纳，获得10
6秒前
6秒前
柏林寒冬的应助被科研通管家采纳，获得10
7秒前
7秒前
风吹麦田的应助被科研通管家采纳，获得50
7秒前
菠菜的应助被科研通管家采纳，获得100
7秒前
7秒前
CipherSage的应助被科研通管家采纳，获得10
7秒前
7秒前
青炀完成签到，获得积分10
7秒前
情怀的应助被科研通管家采纳，获得200
7秒前
Hello的应助被科研通管家采纳，获得10
7秒前
乐乐的应助被科研通管家采纳，获得10
7秒前
明天完成签到，获得积分10
7秒前
SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10
7秒前
乐乐的应助被茶茶采纳，获得10
7秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Vertébrés continentaux du Crétacé supérieur de Provence (Sud-Est de la France) 600
A complete Carnosaur Skeleton From Zigong, Sichuan- Yangchuanosaurus Hepingensis 四川自贡一完整肉食龙化石-和平永川龙 600
FUNDAMENTAL STUDY OF ADAPTIVE CONTROL SYSTEMS 500
微纳米加工技术及其应用 500
Nanoelectronics and Information Technology: Advanced Electronic Materials and Novel Devices 500
Performance optimization of advanced vapor compression systems working with low-GWP refrigerants using numerical and experimental methods 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5305017
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4451211
关于积分的说明 13851392
捐赠科研通 4338545
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2381993
邀请新用户注册赠送积分活动 1377139
关于科研通互助平台的介绍 1344501
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通