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标题
Thermal and oxidation stability of TixW1−x diffusion barriers investigated by soft and hard x-ray photoelectron spectroscopy
软x射线和硬x射线光电子能谱研究TixW1-x扩散势垒的热稳定性和氧化稳定性
相关领域
钛 X射线光电子能谱 退火（玻璃） 材料科学 钨 扩散阻挡层 钛合金 铜 合金 硅 分析化学（期刊） 化学工程 冶金 化学 图层（电子） 纳米技术 色谱法 工程类
网址
https://doi.org/10.1063/5.0048304
AI链接 scitation.org arxiv.org arxiv.org handle.net upc.edu arxiv.org arxiv.org datacite.orgdoi.org
DOI
10.1063/5.0048304 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：Curran Kalha; Sebastian Bichelmaier; Nathalie Fernando; Judith Berens; P. Thakur; et al
出版日期：2021-05-18
求助人
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