Introduction to XPS Analysis for Beginners

XPS（X-ray Photoelectron Spectroscopy: X 線光電子分光法） は AES（Auger Electron Spectroscopy:オージェ電 子分光法） や TOF-SIMS（Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry:飛行時間型二次イオン質量分析法） とならぶ代表的な表面分析手法の一つである ． XPS を用いることにより物質表面の組成分析， さらには化学 結合状態の分析を行うことができる ． XPS はその取扱いの簡単さ ， データベースの豊富さ ， 実用的には帯電 補正が容易， などといったことから， 表面分析手法の中では最も幅広く用いられている手法である ． ここでは， XPS の基本原理， 装置の構成， スペクトルの測定と解析における基本的な留意点， および応用例について述 べる ．