Plasma etching—A discussion of mechanisms

已完结

文献求助详情

标题	Plasma etching—A discussion of mechanisms 等离子体刻蚀机理探讨相关领域蚀刻（微加工）反应离子刻蚀等离子体刻蚀等离子体各向同性腐蚀解吸材料科学离子化学纳米技术吸附物理化学物理核物理学有机化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1116/1.569958
DOI	10.1116/1.569958 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science and Technology 作者：J. W. Coburn; Harold F. Winters 出版日期：1979-03-01
求助人	jjj 在 2025-04-16 17:03:57 发布自天津，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

活动

『应助活动周』获奖名单已公布 🔥 (2025-4-2)

更新

『中科院2025期刊分区』已更新 (2025-3-23)

更新

『即时热点』模块已上线 (2025-2-28)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 天天发布了新的文献求助20

1秒前; 研友_西门孤晴完成签到，获得积分10

2秒前; FCL完成签到，获得积分10

3秒前; caibaozi上传了应助文件

5秒前; 义气凡阳完成签到，获得积分10

6秒前; hjygzv完成签到，获得积分10

6秒前; cocopepsi完成签到，获得积分10

7秒前; 季风气候完成签到，获得积分10

10秒前; 落忆完成签到，获得积分10

11秒前; TiY完成签到，获得积分10

11秒前; Hindiii完成签到，获得积分10

12秒前; 英俊的铭上传了应助文件

13秒前; 单薄广山完成签到，获得积分10

14秒前; cdercder上传了应助文件

14秒前; star完成签到，获得积分10

15秒前; 留胡子的霖完成签到，获得积分10

17秒前; 追寻梦之发布了新的文献求助30

18秒前; hjyylab上传了应助文件

18秒前; 科目三的应助被lxlcx采纳，获得10

19秒前; 吃小孩的妖怪完成签到，获得积分10

20秒前; Anna完成签到，获得积分10

23秒前; 在我梦里绕完成签到，获得积分10

23秒前; 一天八杯水完成签到，获得积分10

28秒前; 南城雨落完成签到，获得积分10

29秒前; 科研通AI5上传了应助文件

29秒前; xinjiasuki完成签到，获得积分10

30秒前; LiuChuannan完成签到，获得积分10

33秒前; wcy完成签到，获得积分10

34秒前; Hua完成签到，获得积分10

34秒前; 英俊的铭上传了应助文件

34秒前; wly发布了新的文献求助10

35秒前; 陈好好完成签到，获得积分10

35秒前; 杨艳完成签到，获得积分10

37秒前; gdgd完成签到，获得积分10

37秒前; CodeCraft的应助被拼搏的路灯采纳，获得10

39秒前; Youlu发布了新的文献求助10

41秒前; 青ZZZZ完成签到，获得积分10

41秒前; CodeCraft的应助被wly采纳，获得10

42秒前; freeway完成签到，获得积分10

43秒前; 东郭一斩完成签到，获得积分10

44秒前