First-principles exploration of the impact of [Si—C] and [N=C] bonds in SiCN films: Composition, structure, and properties

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标题	First-principles exploration of the impact of [Si—C] and [N=C] bonds in SiCN films: Composition, structure, and properties
网址	https://doi.org/10.1063/5.0316282
DOI	10.1063/5.0316282 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Tsung-Hsuan Yang; Jianping Zhao; Peter L. G. Ventzek; Gyeong S. Hwang 出版日期：2026
求助人	fqlpeter 在 2026-06-10 12:09:14 发布自中国，悬赏 10 积分
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