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![]() 用绝缘材料部分替代干馏炉对定向凝固炉生长mc硅影响的杂质分析:计算模型
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:T. Keerthivasan; Xin Liu; M. Srinivasan; Noritaka Usami; G. Aravindan; et al 出版日期:2022-09-24 |
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lilli
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