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 Enhanced Electrical Characteristics of Ge nMOSFET by Supercritical Fluid CO2 Treatment With H2O2Cosolvent H2O2共溶剂超临界流体CO2处理增强Ge nMOSFET的电学特性
相关领域
超临界流体
材料科学
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期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Dun‐Bao Ruan; Kuei‐Shu Chang‐Liao; Guanting Liu; Yu‐Chuan Chiu; Kai‐Jhih Gan; et al 出版日期：2021-03-23 |
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