| 标题 |
  Atomic layer deposition of MoNx thin films using a newly synthesized liquid Mo precursor 相关领域
原子层沉积
杂质
薄膜
结晶度
钼
材料科学
氮化物
图层（电子）
沉积（地质）
电阻率和电导率
扩散阻挡层
化学工程
分析化学（期刊）
纳米技术
化学
有机化学
冶金
复合材料
古生物学
工程类
沉积物
电气工程
生物
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Byunguk Kim; Sangmin Lee; Taesung Kang; Sung‐Hoon Kim; Sang‐Man Koo; et al 出版日期：2022-11-15 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
GingerF
Criminology34
从容芮
tuanheqi
Yoanna
遇上就这样吧
独特的追命
YifanWang
浮游
核桃
哈基米德
pcr163
Ldq
Owen
Takahara2000
GPTea
Yuan
小付
Xiaoxiao
加缪
nenoaowu
，。
淡淡的南风
归海浩阑
Yini
learningu
smile
ABBCCC
皖公网安备34019202002308
