Thickness dependence of properties of EUV underlayer thin films

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标题	Thickness dependence of properties of EUV underlayer thin films 相关领域极紫外光刻材料科学抵抗薄膜进程窗口极端紫外线平版印刷术复合材料光电子学纳米纳米技术光学图层（电子）物理激光器
网址	https://doi.org/10.1117/12.2613437
DOI	10.1117/12.2613437 doi
其它	期刊：作者：Jae Hwan Sim; Yoo‐Jin Ghang; Jung-June Lee; Jae Yun Ahn; Jae-Bong Lim; et al 出版日期：2022-05-25
求助人	langyu 在 2026-01-05 10:47:45 发布自福建，悬赏 20 积分
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