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标题
Radial density uniformity of dual frequency capacitively coupled plasma
网址
http://dx.doi.org/10.7498/aps.61.015204
DOI
10.7498/aps.61.015204 doi
其它 期刊：Acta Physica Sinica
作者：Jiang Xiang-Zhan; Liu Yong-Xin; Bi Zhen-Hua; Lu Wen-Qi; Wang You-Nian
出版日期：2012-01-01
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落寞书翠 在 2026-10-30 11:03:08 发布自北京，悬赏 10 积分
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