TaC-coated graphite prepared via a wet ceramic process: Application to CVD susceptors for epitaxial growth of wide-bandgap semiconductors

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标题	TaC-coated graphite prepared via a wet ceramic process: Application to CVD susceptors for epitaxial growth of wide-bandgap semiconductors
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S002202481...
DOI	10.1016/j.jcrysgro.2017.09.003 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：D. Nakamura; T. Kimura; T. Narita; Akitoshi Suzumura; T. Kimoto; et al 出版日期：2017-11-15
求助人	房东家的猫在 2026-09-21 14:20:28 发布自山东，悬赏 10 积分
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