| 标题 |
 专利、报告等 High-efficiency and high-quality Electrochemical Liquid Film Shearing Polishing for 4H-SiC 相关领域
抛光
材料科学
纳米压痕
剪切（物理）
表面粗糙度
堆积
氧化物
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化学机械平面化
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表面处理
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电化学
电化学加工
定金
压痕硬度
涂层
电极
表面完整性
剪切力
硬度
电镀
腐蚀
原子力显微镜
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| DOI |
10.2139/ssrn.6779307
doi
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| 其它 |
期刊： 作者：Yiwei Liang; Hongbing Wan; Hongyu Chen; Yunxiao Han; Binghai Lyu; et al 出版日期：2026-05-17 |
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(2025-6-4)
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