Von Mises Stress in Chemical‐Mechanical Polishing Processes

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标题	Von Mises Stress in Chemical‐Mechanical Polishing Processes
网址	http://dx.doi.org/10.1149/1.1837542
DOI	10.1149/1.1837542 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：D. Wang; J. Lee; K. Holland; T. Bibby; S. Beaudoin; et al 出版日期：1997-03-01
求助人	郭6666 在 2026-10-24 20:23:43 发布自天津，悬赏 10 积分
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