A High-Fill-Factor Piezoelectric MEMS Mirror Based on Bow-Shaped Unimorph AlN Actuators

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标题	A High-Fill-Factor Piezoelectric MEMS Mirror Based on Bow-Shaped Unimorph AlN Actuators
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/16/4358746/11418939.pdf?...
DOI	10.1109/ted.2026.3661959 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Hao Chen; Xinyu Ding; Wenlong Jiao; Qiangqiang Liu; Ke Cao; et al 出版日期：2026-03-04
求助人	evens 在 2026-03-11 11:54:09 发布自湖南，悬赏 10 积分
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