Atomic Layer Deposition of Y2O3 Thin Films from Yttrium Tris(N,N‘-diisopropylacetamidinate) and Water - 科研通

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标题	Atomic Layer Deposition of Y2O3 Thin Films from Yttrium Tris(N,N‘-diisopropylacetamidinate) and Water 三（N，N’-二异丙基乙脒）钇和水原子层沉积Y2O3薄膜
网址	https://doi.org/10.1021/cm050624+
DOI	10.1021/cm050624+ doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：Philippe de Rouffignac; Jin‐Seong Park; Roy G. Gordon 出版日期：2005-08-17
求助人	wyq 在 2025-05-28 19:08:15 发布自江西，悬赏 10 积分
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