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 Plasma etching: principles, mechanisms, application to micro- and nano-technologies 等离子体刻蚀：原理、机理及其在微纳米技术中的应用
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期刊：Applied Surface Science 作者：Christophe Cardinaud; Marie-Claude Peignon; Pierre‐Yves Tessier 出版日期：2000-09-01 |
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