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 Two-degree-of-freedom displacement measurement system based on double diffraction gratings 基于双衍射光栅的两自由度位移测量系统
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期刊：Measurement Science and Technology 作者：Zhengang Lu; Peipei Wei; Chaoqun Wang; Jialei Jing; Jiubin Tan; et al 出版日期：2016-05-31 |
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